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FD200A 減薄機

本設備主要用于硅片，儲片、砷化鎵等晶體材料的減薄。一、設備示意圖：

設備效果圖：

一、結構

本機主要由真空吸盤、吸盤主軸、吸盤驅動伺服馬達減速，磨輪，砂輪主軸、磨輪及伺服驅動馬達、磨輪在線修整機構、磨輪進給機構、系統全閉環控制系統等.。

1、磨輪直徑312mm，磨輪采用CBN 專用砂輪，磨輪的粒度的選型是根據客戶對工藝的要求定制。

2、磨輪主軸采用精密旋轉主軸，驅動方式為變頻調速轉速可以根據不同的工藝要求由PLC 控制系統支持的驅動模式而相應改變轉速。

3、本機采用高精密絲桿及導軌組件，驅動方式是伺服全閉環控制系統驅動，可根據不同材質的工件及工藝要求由PLC 控制的驅動模式而相應的改變絲桿的轉速，也就是磨輪的進刀速度，控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。

二、控制方式

1、本機采用先進的國際知名品牌 PLC 和觸摸屏，自動化程度高，實現人機界面，操作簡單一目了然。

2、本機配有安全光柵光幕傳感器，當砂輪、吸盤旋轉時防止傷手，

3、操作門裝有門開關，機器正常工作時不可開門，防止工件飛出傷人，

4、氣壓壓力檢測傳感器，當氣壓小于設備設置的正常加工所需的最小壓力時設備報警，防止工件吸不牢，

5、冷卻水流量傳感器，當冷卻水低于設備設置的正常加工所需的最小壓力時設備報警，防止工件表面磨削溫度過高損壞工件，

6、伺服扭矩控制，當扭矩高于于設備設置的正常加工所產生的扭矩時設備報警，防止設備異常或者誤操作時撞刀損壞機器配件，

7、砂輪電流控制，當冷砂輪高于設備設置的正常加工所產生的最大電流時砂輪回彈，回彈距離可調，防止砂輪擠壓工件造成損壞，

8、磨輪損耗量的自動補償，防止因砂輪在磨削產品的同時產生的消耗影響工件的加工精度，

9、設備具有砂輪在線修整功能。